简介
本书的主要内容是通过深入细致地讲述MEMS设计的基础理论和研究方法，结合几种常用的MEMS器件作为研究实例，让学生了解和掌握MEMS器件和系统，从原理设计、工艺设计、系统设计，到加工测试的整个设计过程，以及其中应该关注的主要问题和这些问题的研究、解决方法。同时，培训目前MEMS研究中常用的软件工具，让学生掌握最先进的辅助研究工具，提高设计效率和质量。
编辑推荐
本书可作为微电子系学生用书
更多出版物信息
- 版权： 北京大学出版社
- 出版： 2019-01-01
- 更新： 2024-12-04
- 书号：9787301173787
- 中图：TM38
- 学科：工学电气工程
