本书系统论述了微机电系统的力学原理基础及其规律，内容主要针对机械系统的特征尺度降低到微米和纳米量级时出现的主导作用力及各种微观效应。本书取材前沿，较全面地反映了微机电系统中的力学基础问题。全书共6章，根据自2005年9月起在清华大学精密仪器与机械学系全国首次开设的“微机电系统工程”专业的专业基础课讲义改编而成。本书重点揭示了微机电系统的表界面效应、微尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微机电系统阐述了应用实例。 经过多年的教学实践和科研积累，本书可以作为微机电系统工程及相关专业本科生或者研究生教材，也可以作为从事微机电系统设计开发的研究生和科研技术人员的参考书。