简介
本书主要介绍半导体传感器原理与应用的相关知识，全面阐述了传感器基础知识、半导体传感器常用材料与工艺，突出阐述了温敏、力敏、磁敏、光敏、气敏、湿敏与离子敏等半导体传感器的物理、化学性质、敏感机理、设计与制造。
更多出版物信息
- 版权： 清华大学出版社
- 出版： 2018-10-01
- 更新： 2023-07-10
- 书号：9787302503040
- 中图：TP212.4-43
- 学科：工学控制科学与工程工学计算机科学与技术
本书主要介绍半导体传感器原理与应用的相关知识，全面阐述了传感器基础知识、半导体传感器常用材料与工艺，突出阐述了温敏、力敏、磁敏、光敏、气敏、湿敏与离子敏等半导体传感器的物理、化学性质、敏感机理、设计与制造。
