简介
本文针对两种典型的多尺度体系开展研究，以多尺度结构的低成本、大面积制备为研究重点，以室温纳米压印和多参数刻蚀为主导，研究多尺度结构制备中的若干共性工艺难题，实现了最小关键尺寸的三维金属纳米结构的高质量、稳定可控的制备。
更多出版物信息
- 版权： 清华大学出版社
- 出版： 2018-12-01
- 更新： 2023-07-18
- 书号：9787302515050
- 中图：TB383
- 学科：工学材料科学与工程交叉学科纳米科学与工程
本文针对两种典型的多尺度体系开展研究，以多尺度结构的低成本、大面积制备为研究重点，以室温纳米压印和多参数刻蚀为主导，研究多尺度结构制备中的若干共性工艺难题，实现了最小关键尺寸的三维金属纳米结构的高质量、稳定可控的制备。
