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多尺度级联场增强金属纳米结构的构筑和性能研究

作者： 朱振东

出版社： 清华大学出版社

出版日期： 2018-12-01

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简介

本文针对两种典型的多尺度体系开展研究，以多尺度结构的低成本、大面积制备为研究重点，以室温纳米压印和多参数刻蚀为主导，研究多尺度结构制备中的若干共性工艺难题，实现了最小关键尺寸的三维金属纳米结构的高质量、稳定可控的制备。

更多出版物信息
  • 版权： 清华大学出版社
  • 出版： 2018-12-01
  • 作者：朱振东
  • 更新： 2023-07-18
  • 书号：9787302515050
  • 中图：TB383
  • 学科：
    工学
    材料科学与工程
    交叉学科
    纳米科学与工程

作者信息

朱振东

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