硅基锗材料生长与器件构筑

作者: 陈城钊

出版社: 哈尔滨工程大学出版社

出版日期: 2020-04-01

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简介

本书是一本硅基锗(Ge)材料及其光电器件方面的入门书籍。本书分为三个部分,首先介绍了硅基锗材料生长及器件的基础知识,接着阐述了采用低温缓冲层技术外延生长硅基锗材料,锗的原位硼(B)和磷(P)掺杂,最后是硅基锗PN结和PIN结构的基本物理特性,并给出相关特性的定性与定量分析。书可作为微电子专业的本科生及研究生的参考书,也是该领域工程技术人员的宝贵参考资料。

更多出版物信息
  • 版权: 哈尔滨工程大学出版社
  • 出版: 2020-04-01
  • 作者:陈城钊
  • 更新: 2023-03-22
  • 书号:9787566126481
  • 中图:TN36;TN304.2
  • 学科:
    工学
    电子科学与技术
    工学
    信息与通信工程