作为薄膜晶体管(TFT)技术的入门教材，本书以非晶硅薄膜晶体管（a-Si TFT)和多晶硅薄膜晶体管(p-Si TFT)为例详细讲解了与TFT技术相关的材料物理、器件物理和制备工艺原理及其在平板显示中的应用原理等。 本书共分7章。第1章简单介绍了薄膜晶体管的发展简史；第2章详细阐述了TFT在平板显示有源矩阵驱动中的应用原理；第3章深入讲解了薄膜晶体管相关的半导体、绝缘体和电极材料物理；第4章详细阐述了非晶硅TFT和多晶硅TFT器件物理的相关基础知识；第5章系统介绍了TFT制备的单项工艺原理；第6章仔细讲解了非晶硅TFT阵列和多晶硅TFT阵列工艺整合原理；第7章简单总结全书并展望了以a-IGZO TFT为代表的非晶氧化物薄膜晶体管技术的发展趋势。每章后附有习题，可供课堂练习或课后作业使用。 本书适合于作为大学本科生和研究生相关课程的教材，也适合针对从事TFT技术相关工作的工程技术人员作为技术培训和在职进修的教材或参考书籍。
本书是国内较早针对薄膜晶体管技术的教材。本书的读者定位是大专院校的本科生和研究生以及无平板显示产业界相关基础的工程师等。 本书作者结合实际教学经验，在内容讲解顺序上另辟蹊径，按照从应用原理到器件物理再到工艺原理的顺序阐述。具体而言，首先从薄膜晶体管在平板显示的有源矩阵驱动中的应用原理讲起，并由此引出实际应用对TFT器件特性的基本要求；接着详细阐述薄膜晶体管相关的材料物理和器件物理，并由此确定TFT工艺的技术目标；最后，重点讲解薄膜晶体管阵列的单项工艺原理和工艺整合原理。 本书以非晶硅/多晶硅TFT技术的相关原理作为主要阐述目标，作者在产业界的实际工作经验及TFT实际生产中的相关实务知识也多有涉及。此外，在本书的结尾处作者还根据自身的研究经验对当前正在研发的非晶氧化物薄膜晶体管技术以及TFT在非显示领域的实际应用前景进行了总结和展望。
- 版权： 清华大学出版社
- 出版： 2023-04-01
- 更新： 2023-11-24
- 书号：9787302627777
- 中图：TN321-43
- 学科：工学电子科学与技术工学信息与通信工程
