存储器工艺与器件技术

作者: 霍宗亮、夏志良、靳磊、王颀、洪培真

出版社: 清华大学出版社

出版日期: 2023-08-01

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简介

存储器是半导体产业的基石之一。随着全球物联网、大数据中心、智能家居、穿戴设备等应用带动的数据存储市场的快速增长,NAND存储器日益成为当前存储器市场的主流。本教材重点介绍半导体存储器分类、闪存技术、3D NAND Flash阵列、制造工艺、操作、电学特性与可靠性以及电路设计。本教材可供高等院校的高年级本科生和研究生,集成电路和存储器方向研发工程师、制造工程师参考,为中国存储器事业添砖加瓦,推动科学创新产业化。

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本书涵盖3D存储器架构、器件、工艺、仿真、阵列操作、可靠性测试及电路设计,是全面专业的存储器技术书籍。编著者为研究所双跨到企业的研究员,研发团队完成了多项3D存储器前沿探索和工程研发任务,并与长江存储科技有限责任公司深度合作,教材结合研究所的基础学术研究和工业界的一线研发经验编写,融合学术界视角和工业界视角,为读者开拓思维和眼界。

更多出版物信息
  • 版权: 清华大学出版社
  • 出版: 2023-08-01
  • 作者:霍宗亮、夏志良、靳磊、王颀、洪培真
  • 更新: 2023-09-21
  • 书号:9787302623182
  • 中图:TP333
  • 学科:
    工学
    控制科学与工程
    工学
    计算机科学与技术

作者信息

霍宗亮、夏志良、靳磊、王颀、洪培真

霍宗亮,中国科学院微电子研究所研究员,博士生导师,中国科学院人才引进计划学者,中国科学院微电子研究所存储器中心主任,中国科学院大学微电子学院存储器教研室主任。于2016-2017学年开设了《存储器工艺与器件》课程,在本课程中担任首席。承担或参与了包括02重大专项、重点研发、自然科学基金、中科院STS等多个国家级和院级科研项目,在长期的闪存技术研究工作中,在闪存器件存储材料筛选和工艺、器件结构优化设计、存储机理、器件可靠性、集成工艺技术和芯片设计技术等方面形成了特色。近五年发表了50余篇高质量论文,申请了70于项专利,科研成果受到了学术界和业界的关注和肯定,部分成果已经应用于存储产品当中。同时获得了中国科学院微电子研究所科研成果一等奖、集成电路产业技术创新战略联盟技术创新奖等诸多奖项。完成了多项三维存储器前沿探索和工程研发任务,与长江存储公司深度合作,在成功研发出我国第一代32层3D NAND存储芯片的基础上,连续突破并掌握第二代64层、第三代128层3D NAND存储器的核心技术,已成功实现产品量产,达到世界前沿技术水平。

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