简介
本书系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计，包括薄层、弹性元件（如膜片、微梁）、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等，并附大量的设计计算练习题。
更多出版物信息
- 版权： 清华大学出版社
- 出版： 2019-09-01
- 更新： 2023-07-18
- 书号：9787302517573
- 中图：TN40
- 学科：工学电子科学与技术工学信息与通信工程交叉学科集成电路科学与工程
