微传感器、微机电系统和灵巧器件

作者: Julian W. Gardner

出版社: 清华大学出版社

出版日期: 2004-03-01

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简介

微传感器、微机电系统(MEMS,micro-electro-mechanical systems)正在对半导体工业产生革命性的作用。微系统(microsystems)或片上系统(system-on-a-chip)将微电子电路和微执行器结合在一起,形成有广泛应用领域的新的研究热点。 本书内容丰富,主要论述微传感器及微机电系统的结构、原理、特性、制作方法与工艺技术。例如在材料与制作技术方面,介绍了微电子学中各种薄膜材料和制备方法,以及重要的微电子工艺技术(标准的硅平面工艺),讲述了两类重要的硅三维加工技术,即体微加工技术与表面微加工技术。此外,重点介绍了三维光刻技术。在器件与系统方面,论述了热、辐射、力、声、磁、生物等多类传感器的结构、原理与特性,并重点介绍了叉指式声表面波传感系统以及智能型传感系统。 本书系统介绍微传器技术,并将微传感器、微机电系统和灵巧器件有机结合起来,适合微电子领域的高年级学生和研究人员、微传感器系统方面的工程师和开发人员阅读,对于机械、物理和材料方面的科研人员也很有参考价值。

更多出版物信息
  • 版权: 清华大学出版社
  • 出版: 2004-03-01
  • 作者:Julian W. Gardner
  • 更新: 2023-03-22
  • 书号:9787302081227
  • 中图:TN.174
  • 学科:
    工学
    电子科学与技术
    工学
    信息与通信工程